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質量流量控制器要對管路系統進行干燥處理

2021-09-06 08:56:06
本文關鍵字:質量流量控制器

  質量流量控制器采用金屬密封的MFC原則上可以用于任何氣體,包括各種腐蝕性氣體和特種氣體。對于MOCVD使用的金屬氧化物氣體和三氯化硼、三溴化硼、氟化氫等強腐蝕性氣體建議好采用金屬密封的MFC。
 
  質量流量控制器注意以下:
 
  1:怕液體和油污進入MFC,會造成失控,如果質量流量控制器的出口接有液體罐,為避免液體回流需要在質量流量控制器出口加上單向閥;
 
  2:怕使用潮濕的腐蝕性氣體,潮濕的腐蝕性氣體會使不銹鋼生銹,造成質量流量控制器通道損壞,因此要求在使用腐蝕性氣體前,要對管路系統和氣體進行干燥處理。
 
  3:怕粉塵,若粉塵進入質量流量控制器會堵塞傳感器和分流器,造成測量誤差,要求在進氣口前加裝過濾器。
 
  質量流量控制器傳感器采用毛細管傳熱溫差量熱法原理,測量氣體的質量流量。是由分流器通道、流量傳感器、放大控制器和流量調節閥門等部分組成。

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