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質量流量控制器采用熱式原理可實現控制

2021-08-27 07:54:30
本文關鍵字:質量流量控制器

  質量流量控制器在寬動態范圍控制氣體流量。質量流量控制器主要是熱式微傳感器,芯片上集成了完整的信號處理電路。流量測量采用熱式原理,由模擬控制電路實現控制。這種集成設計以有吸引力的成本實現性能和穩定性。
 
  質量流量控制器用于對于氣體或者液體的質量流量進行精密測量和控制。擴散,氧化,分子束外延,CVD,等離子刻蝕,濺射,離子注入,以及真空鍍膜設備,光纖熔煉,微反應裝置,混氣配氣系統,毛細管測量氣象色譜儀,光導纖維制造設備中,并用于石油化工、冶金、制藥等。
 
  質量流量控制器含流量傳感器、分流器通道和流量放大、線性化及溫度補償電路組成。增加電磁閥和PID控制電路就構成了流量控制器。具有重復性好,壓損小,無可動部件,星程比寬,響應時間較快,測量精度高,不需要溫度壓萬補償等特點,可應用于輕工、化工及半導體等工業部門的空氣、氧氣、氬氣、氮氣等氣體的檢測和控制。

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