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質量流量控制器的工作壓差范圍介紹

2021-11-01 14:57:56
本文關鍵字:質量流量控制器

  質量流量控制器具備流量測量和流量控制兩種功能,流量精度不受氣體壓力、環境溫度影響。其原理是利用氣流流過毛細管造成毛細管上下游溫差從而檢測、控制氣體質量流量。由于上下游溫差總是實時反應氣流瞬時流量,所以特別適用于過程控制中的氣體流量的精密測量和控制。那流量控制器的工作壓差范圍是什么概念呢?

  質量流量控制器中設置有一個氣體流量調節閥門,閥門能使通過控制器的流量從零調節到測量的滿量程,在工作的過程當中,控制器的入口和出口之間會產生一個氣壓降,即壓差。用戶使用流量控制器時,無論用戶工作的反應室是高壓還是真空,應做到使控制器進出氣兩端的壓差保持在所要求壓差范圍之內,也要求氣壓要相對穩定。這是因為控制器的工作壓差范圍通常為0.1~0.3MPa,若壓差高于0.3MPa,有可能關閉時流量不能小于2%F.S;若低于0.1 MPa,有可能控制達不到滿量程值。



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