流量儀表

PZ10-HS-DS質量流量計/控制器

2021/11/25 15:28:55

質量流量控制器 (Mass Flow Controller 縮寫為 MFC) 用于對氣體的質量流量進行精 密測量和控制。它們在半導體和集成電路工業、特種材料學科、化學工業、石油工業、醫藥、 環保和真空等多種領域的科研和生產中有著重要的作用。其典型的應用場合包括:電子工藝 設備,如擴散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入;以及鍍膜設備、光纖熔 煉、微反應裝置、混氣配氣系統、毛細管測量、氣相色譜儀及其他分析儀器。...


聯系浦卓

1、PZ10-HS-DS質量流量計產品展示:


PZ10-DS質量流量計.jpg
PZ10-DS質量流量計
 

產品簡介:

質量流量控制器 (Mass Flow Controller 縮寫為 MFC) 用于對氣體的質量流量進行精 密測量和控制。它們在半導體和集成電路工業、特種材料學科、化學工業、石油工業、醫藥、 環境保護和真空等多種領域的科研和生產中有著重要的作用。其典型的應用場合包括:電子工藝 設備,如擴散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入;以及鍍膜設備、光纖熔 煉、微反應裝置、混氣配氣系統、毛細管測量、氣相色譜儀及其他分析儀器。

 


工作原理:

PZ10-HS/DS 系列氣體質量流量控制器較好的精度、堅固性及可靠性源于我公司特別的 傳感器探頭。該密封探頭由兩傳感元件組成──速度傳感器及溫度傳感器,能自動校正溫度 及壓力變化產生的影響。儀表電路將速度傳感器加熱到高于氣體溫度的一個常數值,然后測量氣體流量的降溫效果。通過測量保持恒定溫差所消耗的電功率與氣體的質量流量成正比的 原理計算流量。兩傳感器均為標準級白金電阻溫度探測器(RTD)。白金 RTD 絲纏繞在堅固 的陶瓷芯軸上,牢固且可靠。整個傳感器密封在 316 不銹鋼包裝殼內。


 
主要技術指標:

1

量程范圍

(0~500,1000,1500,2000,2500,3000...)SLM

2

準 確 度

±0.5%F.S/±1.0%F.S

3

    

±0.5%F.S

4

重復精度

±0.2%F.S

5

響應時間

電特性:1sec 氣特性:(1~4)sec

6

工作壓差

0.02~1.0Mpa

7

    

3Mpa,10Mpa

8

工作環境溫度

0~50℃

9

數 字 量

RS485/232 MODBUS 協議

10

模 擬 量

DC 0~5V ,1~5V,4~20mA 可選

11

    

DC ±15V/24V 可選,電源功率≥20W

12

電氣連接

DB15 

13

    

1×10-9SCCSHe

14

底座材質

316L 不銹鋼

15

密封材質

氟橡膠,聚四氟乙烯,丁晴橡膠

16

氣路接頭

3/4〞,Φ20,Φ25,法蘭連接




  • 上一篇:PZ-XDmass大流量質量流量控制器

  • 下一篇:LFE系列質量流量計 / 控制器
  • PZ10-HS-DS質量流量計/控制器相關產品...

    若您存在任何疑問?請直接與我們聯系,竭誠為您服務!


    現在聯系

    看黄子片免费,黄色影院,好男人手机视频社区,高清无碼午夜福利视频在线